Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern
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Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern

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Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC ? Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern

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Information

Publisher
Cuvillier Verlag
Year
2005
eBook ISBN
9783736916043
Print ISBN
9783865376046
Edition
1

Table of contents

  1. Inhaltsverzeichnis
  2. Einleitung
  3. Das ternäre System Si-C-N
  4. Probenherstellung
  5. Analysemethoden
  6. Ergebnisse
  7. Diskussion der Ergebnisse
  8. Zusammenfassung
  9. Anhang
  10. Literaturverzeichnis