Im blauen Spektralbereich emittierende LEDs auf dem AlGaInN-basierenden Materialsystem sind bereits kommerzialisiert und gut etabliert. Trotzdem weisen sie noch immer einen Nachteil auf: Das bevorzugt in Wurtzitstruktur ausgebildete Gruppe-III-Nitrid ist in der bislang am hĂ€ufigsten fĂŒr die Kristallabscheidung genutzten c-Richtung polar. Die PolaritĂ€t wirkt sich dabei durch das anliegende piezoelektrische Feld aber insbesondere bei zunehmenden In-Anteil und dickeren Quantenfilmen negativ auf die optische Ausgangsleistung und die Effizienz aus, wie dies fĂŒr lĂ€ngerwellige Emission (grĂŒner Spektralbereich) benötigt wird. In dieser Arbeit wurden solche schwach polaren Kristallebenen mit selektiverEpitaxie als schrĂ€ge Seitenfacetten von GaN-Streifen mit dreieckigem Querschnitthergestellt. Auf diese semi-polaren Kristallebenen wurde anschlieĂend die LED-Struktur abgeschieden. Nach dem Nachweis der prinzipiellen Funktion der LEDswurden verschiedene Untersuchungen zum Nachweis des reduzierten PiezofeldesdurchgefĂŒhrt. Dies waren insbesondere der Vergleich der Spektren mit einer regulĂ€ren LED auf der polaren c -Ebene mit Lumineszenzmessungen in Bezug auf die durch den Quantum Confined Stark Effekt verursachte Rotverschiebung und die Anpassung der Prozessierung an die neuartigen LED-Strukturen um eine verbesserte Ausgangsleistung zu ĂŒberprĂŒfen.

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9783867277648
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1