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Optical Physics for Nanolithography
Yen, Anthony, Yu, Shinn-Sheng
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Optical Physics for Nanolithography
Yen, Anthony, Yu, Shinn-Sheng
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This book provides an in-depth, self-contained introduction of partially coherent imaging theory for researchers and engineers working on optical lithography for semiconductor manufacturing, including those in the EDA industry. It is mathematically complete: the opening chapters discuss the essential principles, and all derivations are presented with their intermediate steps. For increased accessibility, simplified and consistent notations are used throughout the text. Full-color pages illustrate the connections between figures and equations.
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Optical Physics for Nanolithography è disponibile online in formato PDF/ePub?
Sì, puoi accedere a Optical Physics for Nanolithography di Yen, Anthony, Yu, Shinn-Sheng in formato PDF e/o ePub, così come ad altri libri molto apprezzati nelle sezioni relative a Sciences physiques e Optique et lumière. Scopri oltre 1 milione di libri disponibili nel nostro catalogo.
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Argomento
Sciences physiquesCategoria
Optique et lumière