In der vorliegenden Arbeit wuden einige grundlegende Aspekte des Einsatzes des Verfahrens der elektronischen Senkbearbeitung mit oszillierender Werkzeugelektode für Strukturierungsaufgaben in der Mikrosystemtechnik untersucht. Hierbei wurden insbesondere einige der für die Mikrosystemtechnik besonders interessanten Werkstoffe des Werzeug- und Formenbaus, der biomedizinischen Technik und Titanwerkstodde näher untersucht.
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9783865372284
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