Im Rahmen dieser Arbeit konnten erstmals mittels Feststoffquellen-MBE epitaxierte InGaAsP-Trapezlaser bei 14xx nm demonstriert werden. Der erste Teil der Arbeit befasste sich mit der Auslegung der Vertikalstruktur. Zur Modellierung wurde eine passive Berechnung des Modenverlaufs in Fast-Axis-Richtung ver- wendet. Dabei wurden zwei AnsĂ€tze zur Dimensionierung der Epitaxieschichten verfolgt: Zum einen wurde das bei GaAs-Hochleistungslasern bewĂ€hrte LOC-Konzept auf InGaAsP transferiert, um Strukturen mit niedrigen optischen Verlusten zu realisieren. Der andere Ansatz beinhaltete eine Struktur mit dĂŒnnen Wellenleiterschichten, die einen höheren modalen Gewinn ermöglicht und mehr Designfreiheit fĂŒr eine Weiterentwicklung ergab. Verschiedene LOC-Strukturen und eine Vertikalstruktur mit schmalem Wellenleiter wurden experimentell realisiert und anhand von Schnellprozess-Emittern gepulst charakterisiert. Dabei zeigte sich, dass eine Spacerschicht auf beiden Seiten der aktiven Zone die interne Quanteneffizienz des Bauelements um rund 15% erhöhte und damit zu einer niedrigeren Laserschwelle beitrĂ€gt. Eine Variation der Quantenfilmzahl bei den LOC-basierten Strukturen ermöglichte die Extraktion des Materialgewinns und der Transparenzstrom- dichte, die als Parameter in die BPM-Simulation der Trapezlaser eingingen. Weiterhin lieĂ sich hieraus auch eine Vorhersage fšur eine optimierte aktive Zone speziell fĂŒr den Trapez- laser treffen: Mit vier QWs (LOC-Struktur) bzw. drei QWs (schmaler Wellenleiter) war eine Minimierung des Schwellenstroms zu erwarten. Die Strukturvariante mit schmalem Wellenleiter zeigte von allen untersuchten Vertikal- strukturen die elektrooptisch besten Eigenschaften, was sich auf einen besseren Ladungs- trĂ€gereinfang in der aktiven Zone und auf den hšoheren modalen Gewinn zurĂŒckfĂŒhren lieĂ. Eine Variation des Dotierprofils ergab, dass die untere Grenze der internen Verluste bei etwa 7 cm?1 liegt, da sich bei einer geringeren p-Dotierung die interne Quanteneffizienz dramatisch verschlechtert. Hier wiederum bestĂ€tigte sich der Vorteil des LOC-Konzeptes, mit dem sich interne Verluste zwischen 2.0 und 3.3 cm?1 realisieren lieĂen. Diese Wer- te bewegen sich im Bereich von Bestwerten, die bei InGaAsP-Lasern dieser WellenlĂ€nge veröffentlicht wurden.

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9783865378835
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1