Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

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Information

Year
2010
eBook ISBN
9783736932845
Print ISBN
9783869552842
Edition
1

Table of contents