Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid
eBook - PDF

Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid

,
  1. 176 pages
  2. English
  3. PDF
  4. Available on iOS & Android
eBook - PDF

Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid

,

About this book

Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird.Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht.Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.

Frequently asked questions

Yes, you can cancel anytime from the Subscription tab in your account settings on the Perlego website. Your subscription will stay active until the end of your current billing period. Learn how to cancel your subscription.
No, books cannot be downloaded as external files, such as PDFs, for use outside of Perlego. However, you can download books within the Perlego app for offline reading on mobile or tablet. Learn more here.
Perlego offers two plans: Essential and Complete
  • Essential is ideal for learners and professionals who enjoy exploring a wide range of subjects. Access the Essential Library with 800,000+ trusted titles and best-sellers across business, personal growth, and the humanities. Includes unlimited reading time and Standard Read Aloud voice.
  • Complete: Perfect for advanced learners and researchers needing full, unrestricted access. Unlock 1.4M+ books across hundreds of subjects, including academic and specialized titles. The Complete Plan also includes advanced features like Premium Read Aloud and Research Assistant.
Both plans are available with monthly, semester, or annual billing cycles.
We are an online textbook subscription service, where you can get access to an entire online library for less than the price of a single book per month. With over 1 million books across 1000+ topics, we’ve got you covered! Learn more here.
Look out for the read-aloud symbol on your next book to see if you can listen to it. The read-aloud tool reads text aloud for you, highlighting the text as it is being read. You can pause it, speed it up and slow it down. Learn more here.
Yes! You can use the Perlego app on both iOS or Android devices to read anytime, anywhere — even offline. Perfect for commutes or when you’re on the go.
Please note we cannot support devices running on iOS 13 and Android 7 or earlier. Learn more about using the app.
Yes, you can access Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid by in PDF and/or ePUB format. We have over one million books available in our catalogue for you to explore.

Information

Publisher
Cuvillier Verlag
Year
2015
Print ISBN
9783954049851
eBook ISBN
9783736949850
Edition
1

Table of contents

  1. Inhalt
  2. 1 Einleitung und Aufgabenstellung
  3. 2 Eigenschaften und Charakterisierung von AlxGa1-xN
  4. 3 Theoretische und experimentelle Grundlagen der Hydrid-Gasphasenepitaxie
  5. 4 Planares Wachstum von AlxGa1-xN auf Saphir
  6. 5 Epitaktisch laterales Überwachsen
  7. 6 Parameterstudien zum Wachstum von c-planarme AlgaN auf Grabenstrukturen
  8. 7 Materiealeigenschaften von c-planarem ELO-AlxGa1-xN
  9. 8 Variation der Substratstruktur für ELO von AlxGa1-xN
  10. 9 Zusammenfassung
  11. Abbildungsverzeichnis
  12. Tabellenverzeichnis
  13. A Tabellierung verwendeter Materialparameter
  14. B Gravimetrische Bestimmung der Wachstumsrate
  15. C Bestimmung des Al-Gehalts
  16. D Berechnung der Gleichgewichtspartialdrücke in der Substratzone
  17. Liste eigener Veröffentlichungen
  18. Literaturverzeichnis