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About this book
Wie lĂ€sst sich das Fertigungsverfahren Umformen vom Makroskopischen in den Submikro- und Nanobereich ĂŒbertragen und welche physikalischen Besonderheiten mĂŒssen berĂŒcksichtigt werden? Diese und weitere Fragen bezĂŒglich des Umformens metallischer Strukturen im Submikro- und Nanobereich zu klĂ€ren, ist das Ziel der vorliegenden Dissertation. Die Ăbertragung des Umformprinzips in den kleinskaligen Bereich ist in vielen Aspekten analog zum Makroskopischen realisierbar. Die Werkzeuge des altertĂŒmlichen Schmieds - Hammer, Zange und Amboss - sind im Submikro- und Nanobereich durch von Mikromanipulatoren gesteuerte Umformwerkzeuge (HĂ€mmer) und schmale, spitze Werkzeuge (Zangen) sowie dem Siliziumsubstrat als Analogon zum Amboss gekennzeichnet.Das Umsetzen der Umformverfahren in den Submikro- und Nanobereich wird am Beispiel des Freiformens, des Gesenkformens, des Biegeumformens und des Schubumformens sowie des Zerteilens (Trennverfahren) demonstriert. Hierbei werden verschiedene Lösungen der Umsetzung fĂŒr unterschiedliche Halbzeuggeometrien und Halbzeugwerkstoffe dargelegt und diskutiert. AbschlieĂend werden Möglichkeiten der Werkzeugoptimierung und alternative Umformtechniken betrachtet sowie kombinierte Prozesse fĂŒr die Fertigung erster Bauteile vorgestellt.
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Information
Table of contents
- Inhaltsverzeichnis
- 1. EinfĂŒhrung
- 2. Besonderheiten um Submikro- und Nanobereich
- 3. Fertigungsverfahren fĂŒr funktionelle Strukturen
- 4. Umformen metallischer Strukturen im Submikro- und Nanobereich
- 5. WeiterfĂŒhrende Untersuchungen als Basis fĂŒr kĂŒnftige Forschungsthemen
- 6. Zusammenfassung und Ausblick
- A. DatenblÀtter der Mikromanipulatoren MM3 A-EM
- B. Internes Bildnummernverzeichnis
- Literaturverzeichnis