Optimierung und Bewertung plasmapolymerer Barriereschichten durch einen alternierenden Aufbau im Rolle-zu-Rolle PE-CVD-Verfahren
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Optimierung und Bewertung plasmapolymerer Barriereschichten durch einen alternierenden Aufbau im Rolle-zu-Rolle PE-CVD-Verfahren

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Optimierung und Bewertung plasmapolymerer Barriereschichten durch einen alternierenden Aufbau im Rolle-zu-Rolle PE-CVD-Verfahren

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In einem Rolle-zu-Rolle-PE-CVD-Verfahren werden spröde SiOx-Barriereschichten und flexible SiOxCy-Schichten alternierend abgeschieden. Neben der Optimierung der Barrierewirkung einzelner SiOx-Schichten ist die mögliche Verbesserung der Barriereeigenschaften durch das Aufbringen von Mehrfachschichtsystemen zentraler Bestandteil dieser Arbeit. Untersuchungen bezĂŒglich Mehrfachschichtsysteme zeigten keine Verbesserung der Barriereeigenschaften gegenĂŒber einzelnen SiOx-Schichten. Anhand von Berechnungen der Sauerstoffpermeation auf Grundlage des Pinhole-Modells wurde festgestellt, dass Makrodefekte nicht die einzige Permeationsmöglichkeit von Sauerstoff darstellen können. Durch die ellipsometrische Bestimmung des Voidvolumens der SiOx-Schichten auf Grundlage der Maxwell-Garnett-Theorie konnte gezeigt werden, dass Nanodefekte, hervorgerufen durch den Schichtbildungsprozess, eine grĂ¶ĂŸere Rolle bei der Limitierung der Barriereeigenschaften spielen. Positiv hervorzuheben ist, dass durch die Abscheidung eines Mehrfachschichtsystems die Dehnbarkeit beschichteter Folien erhöht werden konnte, was eine grĂ¶ĂŸere Toleranz gegenĂŒber mechanischen Beanspruchungen bei der Verwendung und Weiterverarbeitung beschichteter Folien bedeutet.

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Information

Publisher
Cuvillier Verlag
Year
2015
Print ISBN
9783736990029
eBook ISBN
9783736980020
Edition
1

Table of contents

  1. Zusammenfassung
  2. Danksagung
  3. AbkĂŒrzungen
  4. Inhaltsverzeichnis
  5. 1. Einleitung
  6. 2. Niederdruckplasmapolymerisation
  7. 3. Permeation
  8. 4. Verwendete Kunststoffe
  9. 5. Charakterisierungsmethoden
  10. 6. Experimenteller Teil
  11. 7. Charakterisierung der plasmapolymeren Schichten
  12. 8. OberflÀchencharakterisierung der Substrate und ihre Auswirkungen auf die Beschichtung sowie deren Barriereeigenschaften
  13. 9. Schichtdefekte im Nano-Bereich – Maxwell-Garnett-Theorie
  14. 10. Prozessbetrachtung
  15. 11. Zusammenfassung und Ausblick
  16. 12. Literatur
  17. Liste eigener Veröffentlichungen