Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten
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Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten

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Phasenseparierende Prozesse hochqualitativer optischer Schichten

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About this book

Nach dem heutigen Stand der Technik werden mit dem IonenstrahlzerstĂ€ubungsverfahren (engl. Ion Beam Sputtering – IBS) optische DĂŒnnschichtsysteme mit geringsten Verlustraten realisiert, die höchste QualitĂ€tsstandards erfĂŒllen. Da das IBS-Verfahren in seiner bisherigen Konzeption relativ ausgereift ist, sind kĂŒnftig nur inkrementelle Verbesserungen zu erwarten. Mit dem Ziel das IBS-Verfahren dennoch zu verbessern, wird in dem vorliegenden Werk die Möglichkeit einer Erweiterung des IBS-Verfahrens durch die Implementierung eines Separatorkonzepts vorgestellt. Mit einem auf magnetischen Feldern basierenden Separationsverfahren ist es gelungen, die QualitĂ€t optischer Schichten durch eine Verminderung von Streuwerten zu steigern. DarĂŒber hinaus wurde so eine Zugriffsmöglichkeit auf die Plasmaspezies geschaffen, womit neue Freiheitsgrade fĂŒr Manipulationen der im IBS-Verfahren ablaufenden Prozesse eröffnet wurden. Diese Möglichkeiten verleihen dem modifizierten IBS-Prozess weitreichende Gestaltungsfreiheiten, mit denen BeschichtungsablĂ€ufe optimierbar sind.

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Information

Publisher
Cuvillier Verlag
Year
2016
Print ISBN
9783736992702
eBook ISBN
9783736982703
Edition
1

Table of contents

  1. Vorwort und Danksagung
  2. Kurzzusammenfassung
  3. Abstract
  4. Inhaltsverzeichnis
  5. 1 Einleitung
  6. 2 Stand der Technik
  7. 3 Theoretische Grundlagen
  8. 4 Experimenteller Aufbau
  9. 5 Messmethoden zur Charakterisierung der Beschichtung
  10. 6 Ergebnisse
  11. 7 Zusammenfassung
  12. 8 Ausblick
  13. 9 Abbildungsverzeichnis
  14. 10 Literaturverzeichnis
  15. Lebenslauf