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Siliciumsensoren
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Information
Auflage
0Inhaltsverzeichnis
- Vorwort
- INHALTSVERZEICHNIS
- 0. Physikalische Grüßen
- 1. Einleitung
- 2. Klassifizierung der Siliciumsensoren
- 3. Materialelgensohaften von Silicium
- 3.1. Monokristallines Silicium
- 3.2. Polykristalline und amorphe Siliciumschichten
- 4. Silicium-Technologien
- Einleitung
- 4.1. Bearbeitung Ton monokristallinem Silicium
- 4.2. Bearbeitung von polykristallinem und amorphem Silicium
- 5. Wandlerprinzipien
- 6. Fotoresistiver Effekt und Fotogrenzflächeneffekte
- 6.1. Beschreibung des Absorptionsprozesses
- 6.2. Fotoempfindlichkeit der Leitfähigkeit im Siliciummaterial
- 6.3. Auslegung und Kenndaten von Fotowiderständen
- 6.4. Fotoempfindlichkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
- 6.5. Auslegung grenzflächengesteuerter Fotosensoren
- 6.6. Kenndaten und Einsatz grenzflächengesteuerter Fotosensoren
- 7. Kernstrahlung-Ionisationseffekte
- 7.1. Strahlungsionisation und Erzeugung von Strukturdefekten
- 7.2. Auslegung von Kernstrahlungssensoren
- 7.3. Kenndaten und Einsatzformen von Kernstrahlungssensoren
- 8. Piezoresistiver Effekt und Piezogrenzflächeneffekt
- 8.1. Piezoresistiver Effekt
- 8.2. Auslegung piezoresistiver Sensoren
- 8.3. Kenndaten und Einsatzformen piezoresistiver Sensoren
- 8.4. Sensoren auf Basis von Piezogrenzflächeneffekten und piezokapazitive Elemente
- 9. Thermoresistiver Effekt und Thermogrenzflächeneffekte
- 9.1. Temperaturabhängigkeit der Leitfähigkeit im Siliciummaterial
- 9.2. Auslegung von Widerstand-Temperatursensoren
- 9.3. Kenndatenvergleich und Einsatzformen von Widerstand-Temperatursensoren
- 9.4. Temperaturabhängigkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
- 9.?. Auslegung von Grenzflächen-Temperatursensoren
- 9.6. Kenndaten und Einsatzformen von Grenzflächen-Temperatursensoren
- 9.7. Bolometrische Sensoren
- 10. Galvanomagnetische Effekte
- 10.1. Hall-Effekt, magnetoresistiver und Magnetokonzentrationseffekt
- 10.2. Auslegung und Kenndaten von volumengesteuerten Magnetsensoren
- 10.3. Magnetfeldabhängigkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
- 10.4. Auslegung und Kenndatenvergleich von grenzflächengesteuerten Magnetsensoren
- 11. Ladungssensitiver Feldeffekt
- Einleitung
- 11.1. Ionensensoren
- 11.2. Gassensoren
- 11.3. Feuchtesensoren
- 12. Thermoelektrischer Effekt
- 13. Pyroelektrischer und piezoelektrischer Effekt
- Einleitung
- 13.1. Piezoelektrische Sensoren
- 13.2. Pyroelektrische Sensoren
- 14. Integration von Slliciumsensorelementen mit elektronischen Komponenten
- 15. Literatur
- 16. Sachworte
Häufig gestellte Fragen
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