Siliciumsensoren
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Siliciumsensoren

  1. 204 Seiten
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Siliciumsensoren

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Information

Verlag
De Gruyter
Jahr
1986
eBook-ISBN:
9783112767375
Auflage
0
Thema
Technik & Maschinenbau

Inhaltsverzeichnis

  1. Vorwort
  2. INHALTSVERZEICHNIS
  3. 0. Physikalische Grüßen
  4. 1. Einleitung
  5. 2. Klassifizierung der Siliciumsensoren
  6. 3. Materialelgensohaften von Silicium
  7. 3.1. Monokristallines Silicium
  8. 3.2. Polykristalline und amorphe Siliciumschichten
  9. 4. Silicium-Technologien
  10. Einleitung
  11. 4.1. Bearbeitung Ton monokristallinem Silicium
  12. 4.2. Bearbeitung von polykristallinem und amorphem Silicium
  13. 5. Wandlerprinzipien
  14. 6. Fotoresistiver Effekt und Fotogrenzflächeneffekte
  15. 6.1. Beschreibung des Absorptionsprozesses
  16. 6.2. Fotoempfindlichkeit der Leitfähigkeit im Siliciummaterial
  17. 6.3. Auslegung und Kenndaten von Fotowiderständen
  18. 6.4. Fotoempfindlichkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
  19. 6.5. Auslegung grenzflächengesteuerter Fotosensoren
  20. 6.6. Kenndaten und Einsatz grenzflächengesteuerter Fotosensoren
  21. 7. Kernstrahlung-Ionisationseffekte
  22. 7.1. Strahlungsionisation und Erzeugung von Strukturdefekten
  23. 7.2. Auslegung von Kernstrahlungssensoren
  24. 7.3. Kenndaten und Einsatzformen von Kernstrahlungssensoren
  25. 8. Piezoresistiver Effekt und Piezogrenzflächeneffekt
  26. 8.1. Piezoresistiver Effekt
  27. 8.2. Auslegung piezoresistiver Sensoren
  28. 8.3. Kenndaten und Einsatzformen piezoresistiver Sensoren
  29. 8.4. Sensoren auf Basis von Piezogrenzflächeneffekten und piezokapazitive Elemente
  30. 9. Thermoresistiver Effekt und Thermogrenzflächeneffekte
  31. 9.1. Temperaturabhängigkeit der Leitfähigkeit im Siliciummaterial
  32. 9.2. Auslegung von Widerstand-Temperatursensoren
  33. 9.3. Kenndatenvergleich und Einsatzformen von Widerstand-Temperatursensoren
  34. 9.4. Temperaturabhängigkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
  35. 9.?. Auslegung von Grenzflächen-Temperatursensoren
  36. 9.6. Kenndaten und Einsatzformen von Grenzflächen-Temperatursensoren
  37. 9.7. Bolometrische Sensoren
  38. 10. Galvanomagnetische Effekte
  39. 10.1. Hall-Effekt, magnetoresistiver und Magnetokonzentrationseffekt
  40. 10.2. Auslegung und Kenndaten von volumengesteuerten Magnetsensoren
  41. 10.3. Magnetfeldabhängigkeit des Grenzflächentransportes von Ladungsträgern
  42. 10.4. Auslegung und Kenndatenvergleich von grenzflächengesteuerten Magnetsensoren
  43. 11. Ladungssensitiver Feldeffekt
  44. Einleitung
  45. 11.1. Ionensensoren
  46. 11.2. Gassensoren
  47. 11.3. Feuchtesensoren
  48. 12. Thermoelektrischer Effekt
  49. 13. Pyroelektrischer und piezoelektrischer Effekt
  50. Einleitung
  51. 13.1. Piezoelektrische Sensoren
  52. 13.2. Pyroelektrische Sensoren
  53. 14. Integration von Slliciumsensorelementen mit elektronischen Komponenten
  54. 15. Literatur
  55. 16. Sachworte