Reliability of MEMS
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Reliability of MEMS

Testing of Materials and Devices

Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya

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Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya

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Información del libro

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.

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Información

Editorial
Wiley-VCH
Año
2013
ISBN
9783527675036

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