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Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology
Marc J. Madou
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Manufacturing Techniques for Microfabrication and Nanotechnology
Marc J. Madou
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Designed for science and engineering students, this text focuses on emerging trends in processes for fabricating MEMS and NEMS devices. The book reviews different forms of lithography, subtractive material removal processes, and additive technologies. Both top-down and bottom-up fabrication processes are exhaustively covered and the merits of the d
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