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Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
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Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya
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Informazioni sul libro
This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.
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Reliability of MEMS è disponibile online in formato PDF/ePub?
Sì, puoi accedere a Reliability of MEMS di Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya, Oliver Brand, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Toshiyuki Tsuchiya in formato PDF e/o ePub, così come ad altri libri molto apprezzati nelle sezioni relative a Technik & Maschinenbau e Werkstoffwissenschaft. Scopri oltre 1 milione di libri disponibili nel nostro catalogo.