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Resonant MEMS
Fundamentals, Implementation, and Application
Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse
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Fundamentals, Implementation, and Application
Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse
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Ă propos de ce livre
Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then gives a detailed overview of their implementation in capacitive, piezoelectric, thermal and organic devices, complemented by chapters addressing the packaging of the devices and their stability. The last part of the book is devoted to the cutting-edge applications of resonant MEMS such as inertial, chemical and biosensors, fluid properties sensors, timing devices and energy harvesting systems.
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Est-ce que Resonant MEMS est un PDF/ePUB en ligne ?
Oui, vous pouvez accĂ©der Ă Resonant MEMS par Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse, Gary K. Fedder, Christofer Hierold, Jan G. Korvink, Osamu Tabata, Oliver Brand, Isabelle Dufour, Stephen Heinrich, Fabien Josse en format PDF et/ou ePUB ainsi quâĂ dâautres livres populaires dans Technology & Engineering et Microelectronics. Nous disposons de plus dâun million dâouvrages Ă dĂ©couvrir dans notre catalogue.